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半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
T/GVS 005-2022现行团体标准
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基础信息
标准号
T/GVS 005-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-03-28
实施日期
2022-03-28
中国标准分类号
J78
国际标准分类号
23.160
主管部门
广东省真空学会
标准简介
本文件规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。通过对 这些内容的描述，可推知能够适用于半导体装备用电容薄膜真空计的测试方法及过程。 半导体制造过程工艺复杂且多数工艺需在真空条件下进行，因此，真空度的准确测量可保障半导体制造工艺的稳定性。半导体装备用电容薄膜真空计是一种用于半导体制造过程中真空度测量的高性能 电容薄膜真空计，相比于其它类型电容薄膜真空计，除了需采用读值精度衡量真空计性能
内容预览
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