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异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
T/CPIA 0065-2024现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CPIA 0065-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-03-10
实施日期
2024-03-15
中国标准分类号
F12
国际标准分类号
27.160
主管部门
中国光伏行业协会
标准简介
本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备（以下简称“PECVD设备”）的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
内容预览
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