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晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
T/CPIA 0059-2024现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CPIA 0059-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-03-10
实施日期
2024-03-15
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
27.160
主管部门
中国光伏行业协会
标准简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备（以下简称“LPCVD设备”）的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。 本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。
内容预览
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