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平面等厚干涉仪校准规范

JJF 1100-2016现行国家标准

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JJF 1100-2016 · 平面等厚干涉仪校准规范

基础信息

标准号

JJF 1100-2016

标准状态

现行

发布日期

2016-11-30

实施日期

2017-05-30

标准简介

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。 平面等厚干涉仪(以下简称仪器)是采用等厚光波干涉原理,用于物体表面平面度测量(或检测)的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。

内容预览

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