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硅单晶电阻率标准样片检定规程
JJG 48-2004已废止国家标准
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基础信息
标准号
JJG 48-2004
标准状态
已废止
发布日期
2004-09-21
实施日期
2005-03-21
标准简介
本规程适用于硅单晶阻率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验。 硅单晶电阻率标准样片（以下简称标准样片）是用高纯多晶硅，经过单晶制备，再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的，具有一定几何尺寸的实物标准。由不确定度已知的标准装置，对该实物标准的电阻率及其它指标给予标定，使用时以标准样片为准，对相关参数进行量值传递。
内容预览
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