标准详情
微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
GB/T 42158-2023现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 42158-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-07-01
中国标准分类号
L59
国际标准分类号
31.080.99
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1μm~100μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5um~150um、深宽比为0.0067~20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100μm的立方体内。 本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。
内容预览
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