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掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 13389-1992现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 13389-1992
标准状态
现行
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
中国标准分类号
H21
主管部门
国家标准化管理委员会
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10～10cm（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和10～5×10cm（电阻率0.0002～4，000Ω·cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。
内容预览
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