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表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
Surface chemical analysis—Secondary ion mass spectrometry—Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
GB/T 40129-2021现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 40129-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。
内容预览
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