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半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5: RF MEMS switches

GB/T 42709.5-2023现行国家标准

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GB/T 42709.5-2023 · 半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关

基础信息

标准号

GB/T 42709.5-2023

标准状态

现行

发布日期

2023-05-23

实施日期

2023-09-01

中国标准分类号

L40

国际标准分类号

31.200

主管部门

工业和信息化部(电子)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部(电子)

标准简介

本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号,描述了参数测试方法。 本文件适用于各种类型的射频MEMS开关,射频MEMS开关的-般说明见附录A。按接触方式分类,包括直流触点型开关和电容触点型开关;按结构分类,包括串联开关和并联开关,射频MEMS开关的几何结构说明见附录B;按开关网络分类,包括单刀单掷开关、单刀双掷开关和双刀双掷开关等;按驱动方式分类,包括静电驱动开关、热电驱动开关、电磁驱动开关和压电驱动开关等。射频MEMS开关在多频带或多模式移动电话、智能雷达系统、可重构

内容预览

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