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真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement

GB/Z 42625-2023现行国家标准

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GB/Z 42625-2023 · 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

基础信息

标准号

GB/Z 42625-2023

标准状态

现行

发布日期

2023-05-23

实施日期

2023-05-23

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

主管部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

中国机械工业联合会

标准简介

本文件规定了四极质谱仪的特性,该质谱仪的离子源为电子轰击型,原子的质荷比(m/z)小于300。本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪,比如化学电离型离子源光电离型离子源或场电离型离子源,也不适用于分析测量较大质荷比(m/z)的四极质谱仪,它们主要用于检测有机材料。根据已出版的文献可知,四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分,因此,对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。

内容预览

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