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半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试 机器模型（MM）
Semiconductor devices—Mechanical and climatic test methods—Part 27: Electrostatic discharge(ESD) sensitivity testing—Machine model(MM)
GB/T 4937.27-2023现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 4937.27-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-05-23
实施日期
2023-12-01
中国标准分类号
L40
国际标准分类号
31.080.01
主管部门
工业和信息化部（电子）
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
工业和信息化部（电子）
标准简介
本文件依据半导体器件对规定的机器模型（MM）静电放电（ESD）所造成损伤或退化的敏感度，建立了半导体器件ESD测试和分级的标准程序。本文件相对于人体模型ESD，用作一种可选的测试方法，目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果，以此进行准确分级。 本文件适用于半导体器件，属于破坏性试验。 半导体器件的ESD测试从本文件、人体模型（HBM-见GB/T 4937.26）或GB/T 4937系列中的其他测试方法中选择。MM与HBM测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外，HBM测试方法为所选方法。
内容预览
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