3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分的测定 气相色谱法

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标准简介

本文件描述了用气相色谱法测定电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分 的原理、试剂或材料、仪器设备、测定步骤及结果处理等。 本文件适用于电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氩气、氧气、氮气、总烃(以 甲烷计)、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分的测定。氩气含量测定的检出限不大于5×10-6(体积 分数)，氧气、氮气、总烃(以甲烷计)、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分含量测定的检测限不大 于0.01×10-6(体积分数)。

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