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半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method
GB/T 42676-2023现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 42676-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。 本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。
内容预览
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