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表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
GB/T 42659-2023现行国家标准
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PDF · 55 页 · 7.23MB
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基础信息
标准号
GB/T 42659-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
内容预览
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