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表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
GB/T 29732-2021现行国家标准
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PDF · 15 页 · 3.89MB
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基础信息
标准号
GB/T 29732-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-12-31
实施日期
2022-07-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。 本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
内容预览
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