标准详情
洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
GB/T 25915.10-2021现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.10-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。 本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1：本文件仅考虑徽粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质．本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2：本文件不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
内容预览
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