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用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法
GB/T 14863-1993已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 14863-1993
标准状态
已废止
发布日期
1993-12-30
实施日期
1994-10-01
中国标准分类号
L41
主管部门
工业和信息化部（电子）
技术归口
工业和信息化部（电子）
标准简介
本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流了浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。 本标准适用于外延层厚度不小于某一最小厚度值（见附录B）的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层，也适用于体材料。
内容预览
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