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确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinatesystem
GB/T 16596-1996已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 16596-1996
标准状态
已废止
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
国家技术监督局
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了利用晶片中心作为极坐标（r-θ-z）或直角坐标（X-Y-Z）的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 对于非构图晶片，可直接使用本晶片坐标系统或与矩形阵列或极坐标重叠阵列一起使用本晶片坐标系。 本晶片坐标系也可用于确定另一坐标系的原点或其他基准点的位置，而这另一坐标系则常表示或记录在构图或非构图晶片上的局部区域、芯片或图形阵列的位置特征。这样，该阵列体坛系可定位晶片的实际几何图形。
内容预览
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