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晶片通用网格规范
Specification for a universal wafer grid
GB/T 16595-1996已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 16595-1996
标准状态
已废止
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
国家技术监督局
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。网格规定包含1000个面积近似相等的网格单元，每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1％。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比（或有效的面积百分比），可定量其非均匀分布的表面缺陷（例如，滑移）。把透明的网格覆盖到晶片缺陷图形上或把被观测的晶片缺陷图形映到网格上，定量有缺陷的面积，计算含有缺陷的网格单元的数量。该单元数除以10相当于有缺陷面积的百分比。也可将该网格叠加在CRT显示器、照片或计算机绘制的图上。使用时，网格的直径必须与所覆盖的
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