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纳米几何量标准样板测试方法
Testing method for nano geometric standard samples
GB/T 43915-2024现行国家标准
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PDF · 19 页 · 3.37MB
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基础信息
标准号
GB/T 43915-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-04-25
实施日期
2024-11-01
中国标准分类号
J42
国际标准分类号
17.040.30
主管部门
中国机械工业联合会
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
中国机械工业联合会
标准简介
本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。 本文件适用于线间隔为50nm~100nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20nm~100nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10nm^-100nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2nm~100nm的纳米膜厚标准样板的测试。
内容预览
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