标准详情
关键尺寸(CD)计量方法
CD Metrology procedures
GB/T 17864-1999现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 17864-1999
标准状态
现行
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
中国标准分类号
L56
国际标准分类号
31.200
主管部门
国家标准委
发布部门
国家质量技术监督局
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题、也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚焦控制、以及材料等。 计量或测量是生产活动中的基础。首先要靠它的监控来建立可行的生产能力，而后要用它来检验产品是否符合规范或设计指标。 本标准讨论的参数是精确度。可靠性和线性度等其他的重要参数将在其他的标准中介绍。 本标准说明如何在集成电路大圆片制造的光刻工序这种非常特殊的应用中决定计量/测量系统的性能。本标准也
内容预览
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