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硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
GB/T 12964-2003已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 12964-2003
标准状态
已废止
发布日期
2003-06-16
实施日期
2004-01-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。
内容预览
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