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晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备
SJ/T 11829.2-2022现行行业标准
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基础信息
标准号
SJ/T 11829.2-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31.55
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国半导体设备利材料标准化技术委员会
标准简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“板式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于晶晶体硅光伏电池用板式PECVD设备，产品主要用于多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅(ue-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(AI3O3)、氮化硅薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池，柔性光伏电池用PECVD也可参照使用。
内容预览
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