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硅单晶切割片和研磨片
Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices
GB/T 12965-2005已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 12965-2005
标准状态
已废止
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
中国有色金属工业协会
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。
内容预览
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