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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GB/T 1557-2006已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 1557-2006
标准状态
已废止
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.01
主管部门
中国有色金属工业协会
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。
内容预览
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