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六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 1601-2023现行行业标准
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基础信息
标准号
YS/T 1601-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-04-21
实施日期
2023-11-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.04
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
标准简介
本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。 本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g~50ng/g。
内容预览
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