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硅多晶气氛区熔基磷检验方法
Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
GB/T 4059-2007已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 4059-2007
标准状态
已废止
发布日期
2007-09-11
实施日期
2008-02-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.01
主管部门
中国有色金属工业协会
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国有色金属工业协会
标准简介
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。
内容预览
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