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钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法

Nano, Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry

GB/T 22462-2008现行国家标准

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GB/T 22462-2008 · 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法

基础信息

标准号

GB/T 22462-2008

标准状态

现行

发布日期

2008-10-30

实施日期

2009-06-01

中国标准分类号

N33

国际标准分类号

17.180

主管部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准简介

本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。 本方法适用于测定3nm~1000nm厚度的钢表面薄膜,适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。

内容预览

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