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电子工业用气体 5N氯化氢
GB/T 24469-2009已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 24469-2009
标准状态
已废止
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准化管理委员会
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)
内容预览
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