标准详情
硅多晶
GB/T 12963-2009现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 12963-2009
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准化管理委员会
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
内容预览
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