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半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
GB/T 24468-2009已废止国家标准
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PDF · 32 页 · 3.64MB
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基础信息
标准号
GB/T 24468-2009
标准状态
已废止
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
中国标准分类号
L85
国际标准分类号
17.040.30
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准定义了设备的六个基本状态，所有的设备条件和阶段都必须归入这六个状态。设备的状态由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上，而不是设备失效和设备经历的（日历）总时间之间的关系。 本标准第5章（设备的状态）定义了设备的时间是如何分类的，第6章（RAM测量）确定了测量设备性能的公式。第7章（不确定度测量）给出了用统计学对计算出的性能量值进行评估的方法。 本标准的有效实施，要求设备的（RAM）性能可以通过设备的运行时间和周期进行跟踪。对设备状态
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