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硅单晶抛光试验片规范
Specification for polished test silicon wafers
GB/T 26065-2010现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 26065-2010
标准状态
现行
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
1．1 本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。 1．2 本标准涵盖尺寸规格，结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50．8mm～300mm所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。 1．3 对于更高要求的硅单晶抛光片规格，如：颗粒测试硅片、光刻分辨宰试验用硅片以及金属离子监控片等，参见SEMI《241硅单晶优质抛光片规范》。
内容预览
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