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电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry - Boron trichloride
GB/T 17874-2010已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 17874-2010
标准状态
已废止
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
内容预览
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