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扫描探针显微镜漂移速率测量方法
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
GB/T 29190-2012现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 29190-2012
标准状态
现行
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-06-01
中国标准分类号
A60
国际标准分类号
17.180.99
主管部门
中国科学院
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
内容预览
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