标准详情
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
GB/T 29057-2012已废止国家标准
下载标准电子版
PDF · 16 页 · 1.09MB
登录后可查看已购记录，会员和金币权益与电子标准网共用。
基础信息
标准号
GB/T 29057-2012
标准状态
已废止
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准包括多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过光谱分析法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中痕量杂质的程序。这些痕量杂质包括施主杂质(通常是磷或砷,或二者兼有)、受主杂质(通常是硼或铝,或二者兼有)及碳杂质。本标准中适用的杂质浓度测定范围:施主和受主杂质为(0. 002～100) ppba(十亿分之一原子比),碳杂质为(0.02～15) ppma(百万分之一原子比)。样品中的这些杂质是通过低温红外光谱法或光致发光光谱法分析的。本标准仅适用于评价在硅芯上沉积生长的多晶硅棒。
内容预览
相关标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JJF（冀）5016-2026 | 白内障超声乳化仪校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）269-2026 | 模拟量输入输出通道模板校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）268-2026 | 工频高压试验装置校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJG（冀）275-2026 | 车用甲醇燃料加注机检定规程 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）272-2026 | 橡胶平板硫化机温度、压力参数校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）273-2026 | 直接检眼镜校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）271-2026 | 橡胶可塑性试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）270-2026 | 汽车内饰材料燃烧试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）274-2026 | 转子式定量给料机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）5014-2026 | 脉搏血氧计校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |