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表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy - Repeatability and constancy of intensity scale

GB/T 29558-2013现行国家标准

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GB/T 29558-2013 · 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

基础信息

标准号

GB/T 29558-2013

标准状态

现行

发布日期

2013-07-19

实施日期

2014-03-01

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

主管部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准简介

针对于常规分析使用的电子枪能量至少为2keV 的俄歇电子能谱仪,本标准规定了一种评估其强度标的重复性和恒定性的方法。它仅适用于配备了溅射清洁用离子枪的仪器。本标准并非旨在成为一种强度/能量响应函数的校准,这种校准可由仪器厂商或者其他机构制定。本方法提供数据以评估和确认仪器使用中强度/能量响应函数保持恒定的精度,对可影响这种恒定性的一些仪器设置给出了指导。

内容预览

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