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表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
Surface chemical analysis - High resolution auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
GB/T 29731-2013现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 29731-2013
标准状态
现行
发布日期
2013-09-18
实施日期
2014-06-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准规定了用于表面元素和化学态分析的俄歇电子能谱的动能标校准方法。并且还规定了校准日程安排,用于在中间某一能量值测试动能标线性、在高低动能区各取一点确认标尺校准的不确定度、校正标尺小漂移以及规定在95%置信度时该动能标校准的扩展不确定度(这个不确定度包括实验室之间研究中观察到的各种现象,但不涵盖所有可能的缺陷)。 本标准仅适用于配备溅射清洁离子枪的仪器。不适用于以下情况的仪器:动能标尺的误差随能量明显非线性变化;工作于谱仪的相对分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 为1.5eV 模式时,要求
内容预览
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