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表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪 元素分析用能量标校准
Surface chemical analysis - Medium resolution auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis
GB/T 29732-2013已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 29732-2013
标准状态
已废止
发布日期
2013-09-18
实施日期
2014-06-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%，微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。
内容预览
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