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电子工业用气体 锗烷
Gas for electronic industry—Germane
GB/T 31987-2015现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 31987-2015
标准状态
现行
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。 本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。 分子式:GeH4。 相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
内容预览
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