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电子工业用气体 八氟丙烷

Gas for electronic industry—Perfluoropropane

GB/T 31986-2015现行国家标准

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GB/T 31986-2015 · 电子工业用气体 八氟丙烷

基础信息

标准号

GB/T 31986-2015

标准状态

现行

发布日期

2015-09-11

实施日期

2016-05-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

主管部门

国家标准委

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准简介

本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

内容预览

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