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微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
GB/T 20726-2015已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 20726-2015
标准状态
已废止
发布日期
2015-10-09
实施日期
2016-09-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.99
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。
内容预览
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