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硅的仪器中子活化分析测试方法
Test method for instrumental neutron activation analysis (INAA) of silicon
GB/T 32277-2015现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 32277-2015
标准状态
现行
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
1.1 本标准规定了硅材料的仪器中子活化分析测试方法。 1.2 本标准适用于化学气相沉积法或冶金提纯方法生产的硅材料的仪器中子活化分析。分析样品可以是单晶硅、多晶硅，而多晶硅的形态可以是粉末、颗粒、块状或硅片。 1.3 本标准适用于材料的宏观成分分析。如按本测试方法进行额外的样品制备，并在样品抽取、传送 和制备过程中避免表面污染，也可实现样品的表面或近表面区域分析1.4 本测试方法仅适用于附录A中所列痕量元素的热中子或超热中子活化分析。 1.5 本测试方法不适用于非晶硅薄膜、多晶硅薄膜或微晶硅薄膜的分析。
内容预览
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