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碳化硅单晶片平整度测试方法
Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
GB/T 32278-2015已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 32278-2015
标准状态
已废止
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。 本标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm,厚度0.13mm~1mm 碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
内容预览
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