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硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
GB/T 32815-2016现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 32815-2016
标准状态
现行
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅一玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。
内容预览
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