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半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
GB/T 32817-2016现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 32817-2016
标准状态
现行
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.080.99
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000
内容预览
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