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表面化学分析 辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程
Surface chemical analysis—General procedures for quantitative compositional depth profiling by glow discharge optical emission spectrometry
GB/T 32997-2016现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 32997-2016
标准状态
现行
发布日期
2016-10-13
实施日期
2017-09-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准规定了辉光放电发射光谱法测定材料表层薄膜的厚度、质量（单位面积）和化学成分的方法。本标准仅限于辉光放电发射光谱法深度剖析定量化通用规程的描述，并不能直接应用于具有不同厚度和元素的待测个体材料的定量化。注：任何一个针对测试材料表面分析的标准均需要明确表层厚度和分析元素，并提供实验室间共同实验结果以确认方法的有效性。
内容预览
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