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表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求

Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy—Reporting of methods used for charge control and charge correction

GB/T 32998-2016现行国家标准

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GB/T 32998-2016 · 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求

基础信息

标准号

GB/T 32998-2016

标准状态

现行

发布日期

2016-10-13

实施日期

2017-09-01

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

主管部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准简介

本标准规定了在电子激发绝缘样品的俄歇电子能谱测量中,描述荷电控制方法所需的最少信息,该信息也一并报告在分析结果中。参见附录A提供的现有的AES分析前或分析期间荷电控制的有用方法。表A.1对各种方法和途径进行了总结,并依方法的简单性排列。表A.1中的一些方法对大多数仪器是可用的,一部分则需要特殊的硬件,还有部分可能涉及样品的重装或变动。

内容预览

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