标准详情
电子工业用气体 硅烷
Gas for electronic industry—Silane
GB/T 15909-2017现行国家标准
下载标准电子版
PDF · 11 页 · 1.44MB
登录后可查看已购记录，会员和金币权益与电子标准网共用。
基础信息
标准号
GB/T 15909-2017
标准状态
现行
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。 本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。 分子式：SiH4。 相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。
内容预览
相关标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JJF（冀）5016-2026 | 白内障超声乳化仪校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）269-2026 | 模拟量输入输出通道模板校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）268-2026 | 工频高压试验装置校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJG（冀）275-2026 | 车用甲醇燃料加注机检定规程 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）272-2026 | 橡胶平板硫化机温度、压力参数校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）273-2026 | 直接检眼镜校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）271-2026 | 橡胶可塑性试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）270-2026 | 汽车内饰材料燃烧试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）274-2026 | 转子式定量给料机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）5014-2026 | 脉搏血氧计校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |