标准详情
表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
GB/T 34326-2017已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 34326-2017
标准状态
已废止
发布日期
2017-09-29
实施日期
2018-08-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准规定了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子以保证溅射深度剖析具有好的深度分辨率以及最佳表面清洁效果而采取的离子束对准方法。这些方法分为两类：一类通过法拉第杯测量离子束流，另一类通过成像方法。法拉第杯方法也规定了离子束束流密度和束流分布的测量。这些方法不包括深度分辨率的优化。 这些方法均适用于束斑直径小于1mm的离子枪。
内容预览
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