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硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
GB/T 35306-2017已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 35306-2017
标准状态
已废止
发布日期
2017-12-29
实施日期
2018-07-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω？cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω？cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。 本标准测定碳、氧含量的有效范围从5X1014atoms？cm-3(0.01ppma）到硅中代位碳和间隙氧的最大固溶度。
内容预览
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